Основная информация:
НаноФаб 100 является модульной технологической платформой для формирования нанотехнологических комплексов (НТК) с кластерной компоновкой, включающих технологические установки с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм. При формировании НТК кластеры связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов. Это позволяет на основе платформы НаноФаб 100 создавать Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур, наноустройств и наносистем на их основе.
Применение:
Области применения НТК НаноФаб 100 покрывают практически все поле нанотехнологических исследований и разработок, связанных с твердотельными наноматериалами, наноструктарами и наноустройствами. Спектр возможностей НаноФаб 100 простирается от проведения фундаментальных исследований до отработки отдельных технологических приемов и моделирования наноэлектронных устройств. Применяемые компоновочные схемы, система управления и развитая транспортная система НТК НаноФаб 100 позволяюет применять их также и для мелкосерийного производство наноструктур и наноустройств. Координатно-связанная система позиционирования подложек позволяет создавать сложные многокомпонентные 3D наноустройства путем проведения в различных модулях последовательных нанотехнологических операций с нанометровым разрешением.
Структура:
Богатейшие возможности НаноФаб 100 реализуются за счет правильно выбранной кластерной компоновочной схемы – связь между образующими кластер функционально объединенными технологическими модулями осуществляется с помощью сверхвысоковакуумного радиального робота-раздатчика. Это обеспечивает минимальное время межоперационной передачи образцов и, соответственно, сохранение совершенно необходимой в нанотехнологии атомарной чистоты поверхности.
Наличие модулей передачи подложек с устройствами переворота обеспечивает возможность проведения сложных технологических циклов с включением групповых и нанолокальных процессов. Развитая транспортная система с модулями межоперационного хранения подложек позволяет в одном НТК НаноФаб 100 реализовать одновременно несколько технологических циклов на нескольких подложках. Помимо модулей в состав НаноФаб 100 входят также и отдельные технологические, контрольные, измерительные, аналитические и др. устройства. Модули платформы НаноФаб 100 могут функционировать как в составе НТК, так и автономно, в отдельных случаях, возможно, с использованием вспомогательных загрузочных устройств или модулей загрузки.
Уникальность:
По составу платформы, транспортной системе, системе управления и гибкости формирования нанотехнологических комплексов платформа НаноФаб 100 не имеет аналогов в мировой практике.
Информационная брошюра НАНО ФАБ 100 (11 Мб) 