Платформа СОЛВЕР: СОЛВЕР P47-PRO
СЗМ СОЛВЕР P47-PRO - это универсальный прибор для комплексных исследований различных объектов с высоким разрешением на воздухе, в жидкостях и контролируемой газовой атмосфере, при температуре до 150 С. Конструкция прибора гарантирует максимальную точность измерений и большое число СЗМ измерительных методик. Эта модель может быть успешно использована как в маленьких компаниях и университетских лабораториях, так и в больших исследовательских центрах.
Особенности:
- Собственная система виброизоляции для получение сверх-высокого разрешения без дополнительной виброзащиты (вплоть до атомарного)
- Сканирующая Туннельная Микроскопия, Атомно-Силовая Микроскопия и Shear Force (позволяет использовать оптическое волокно в качестве зондового датчика) в одном приборе.
- Работа в жидкостях, в контролируемой газовой среде и при температурах до 150о С
- Интерактивная система управления и программная настройка режимов работы и функциональной схемы прибора.
- Возможность сохранения настроек в отдельных файлах позволяет начинающему пользователю работать с использованием практически всех современных методов сканирующей зондовой микроскопии.
- Опытный пользователь может разрабатывать и реализовывать свои собственные методики, в том числе многопроходные.
Методики Измерений
На воздухе: СТМ/ Низкотоковая СТМ/ Туннельная Спектроскопия/Контактная АСМ/МЛС/Резонансная АСМ (полуконтактная + безконтактная)/Метод отображения Фазы/Метод модуляции силы/Изображение Силы Адгезии/Отображение сопротивления растекания /СЕМ /МЗК /МСМ /ЭСМ/ Поперечно-силовая микроскопия/ АСМ (Силовая + Токовая), СТМ и RM литографии
В жидкости: Контактная АСМ / Микроскопия Боковых Сил/ Метод Модуляции силы/Изображение Силы Адгезии/ полуконтактная (scanner-driven) АСМ/ АСМ (Силовая) Литография.
Применения
Идеальный прибор для комплексного исследования различных материалов с высоким разрешением на воздухе и в контролируемых газовых средах (конфигурация сканирования образцом). Прибор может применяться в электронной промышленности для контроля нанолитогрфических (токовых, электрополевых, механических, химических и др.) операций, для контроля качества поверхности полупроводниковых и других пластин диаметром до 100 мм и толщиной до 20 мм. В химической промышленности, материаловедении и в биотехнологии прибор может применяться для контроля технологических процессов получения различных покрытий, пленок, полимерных и структурированных материалов и т.д.
Конфигурации:
АСМ конфигурация с двойным сканированием |
Конфигурация для проведения измерений в жидкости |
|
Конфигурация для измерений в жидкости |
Конфигурация для СТМ измерений |
|
Конфигурация для оптических измерений |





