Платформа ИНТЕГРА: ИНТЕГРА Соларис

Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия (СБОМ) — это возможность изучать оптические свойства образца (его способность отражать, пропускать, рассеивать свет) с пространственным разрешением в несколько десятков нанометров. В отличие от обычного оптического микроскопа, разрешение которого ограничено пределом дифракции (около 170 нм для синего света при соблюдении условия конфокальности), разрешение СБОМ определяется лишь размером апертуры оптического зонда — отверстия в металлическом покрытии на острие оптоволокна, по которому свет от лазера поступает к образцу. В сменное основание системы встроен держатель объектива с 100 мкм Z-сканером, большая механическая жесткость конструкции позволяет использовать иммерсионные высокоапертурные объективы.

Особенности:

  • Изучение оптических свойств с разрешением до 30 нм
  • Возможность собирать одновременно отраженные и проходящие фотоны
  • Беспрецедентно высокое разрешение при работе с флуоресцентно-окрашенными объектами
  • Открытый дизайн системы
  • Возможность использовать измерительную головку в режиме Stand Alone

    Технические характеристики:


    * 488 нм лазер поставляется по умолчанию; другие лазеры поставляются по требованию.

    Применение:

  • Исследования биологических объектов
  • Контроль качества поверхностей оптических деталей
  • Излучающих полупроводниковых структур
  • Исследование характеристик нанооптических и интегрально-оптических элементов
  • Исследование характеристик наноэлектронных элементов, в частности, спектров квантовых точек


Дополнительные возможности:

  • Возможность проводить измерения в жидкости
  • Лазерный конфокальный сканирующий микроскоп/спектроскоп


Конфигурации:

Конфигурация для оптических измерений
Конфигурация предназначена для измерения рельефа поверхности образца и его приповерхностных оптических характеристик.

 

АСМ конфигурация
Конфигурация с АСМ измерительной головкой наряду с обычным комплексом методик силовых измерений позволяет реализовать оптические методики измерений с разрешением выше дифрационного предела, в т.ч. спектральные.