Платформа ИНТЕГРА: ИНТЕГРА Прима
ИНТЕГРА Прима — это многофункциональный прибор для решения наиболее типовых задач в области Сканирующей Зондовой Микроскопии. В возможности прибора входит более 40 измерительных методик, что позволяет изучать физические и химические свойства поверхности образца с высокой точностью и разрешением. Возможно проведение измерений в различных средах - на воздухе, в контролируемой атмосфере, в жидкости. Управляющая электроника нового поколения позволяет работать в высокочастотных режимах (до 5 мГц). Эта возможность оказывается принципиальной при работе с высокочастотными модами Атомно-Силовой Микроскопии или использовании высокочастотных кантилеверов.*
В ИНТЕГРА Прима реализовано несколько режимов сканирования – сканирование образцом, сканирование зондом и двойное сканирование. За счет этого система идеально подходит как для исследования небольших образцов со сверхвысоким разрешением (атомарно-молекулярный уровень), так и для больших образцов и диапазона сканирования 100х100х10мкм. Уникальный режим двойного сканирования DualScan TM позволяет изучать еще большие области на поверхности образца до 200х200 мкм по X,Y и до 22мкм по Z, что может быть полезно, например, для живых клеток или компонентов МЭМС.
Встроенные емкостные датчики обратной связи по всем трем координатам отслеживают реальное перемещение сканера и компенсируют такие неизбежные совершенства пьезокерамики как нелинейность, гистерезис и крип. Используемые в оборудовании НТ-МДТ датчики имеют самый низкий уровень шума, что позволяет работать с включенным контролем обратной связи даже на малых полях – до 10х10нм. Это особенно ценно для проведения наноманипуляций и при работе в режимах литографий. В ИНТЕГРА Прима используется встроенная оптическая система с разрешением до 1 мкм, что позволяет наблюдать за процессом сканирования в реальном времени. За счет открытой архитектуры функциональность ИНТЕГРА Прима может быть существенно расширена. Это могут быть специализированные магнитные измерения с внешним магнитным полем, высокотемпературные исследования, ближнепольная оптическая микроскопия, Раман спектроскопия и т.д.
* - Так, уникальная методика Атомно-Силовой Акустической Микроскопии (АСАМ) позволяет исследовать как мягкие, так и твердые образцы с проведением количественных измерений модуля Юнга в каждой точке сканирования. АСАМ позволяет получить существенно лучший контраст по сравнению с Методом Отображения Фазы при работе с мягкими объектами, а также делает возможным получение контраста на твердых образцах, что весьма затруднительно при использовании других методик.
Особенности:
- Наличие емкостных датчиков перемещения (closed loop control) с самым низким уровнем собственного шума (могут быть использованы на полях сканирования <100 нм!)
- Оптический микроскоп с разрешением до 1 мкм
- Возможность осуществлять сканирование как образцом (наименьший уровень шумов, наилучшее разрешение на малых полях сканирования), так и зондом (максимальный диапазон сканирования, возможность работы с массивными образцами)
- Более 40 измерительных методик, включая уникальные
- Возможность проведения измерений на воздухе, в контролируемой атмосфере, жидкости
- Возможность наращивать функциональност
Технические характеристики:
* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
**** По требованию заказчика возможно дополнительно установить оптическую систему с высоким разрешением.
Применение:
Биология и Биотехнология
Протеины, ДНК, вирусы, бактерии, эукариоты, ткани
Материаловедение
Морфология поверхности, локальные механические, пьезоэлектрические, адгезионные и трибологические характеристики
Магнитные Материалы
Доменные структуры, магнитные частицы, магнитные пленки и многослойные структуры, устройства спинтроники, зависимость магнитных свойств от внешнего магнитного поля
Полупроводники
Морфология подложек, распределение примесей, гетерограницы и границы p-n переходов, межфазные границы, качество и толщины функциональных слоев
Полимеры и Тонкие Органические Пленки
Сферулиты и дендриты, полимерные монокристаллы, блок-сополимеры, политмерные наночастицы, ЛБ-пленки, тонкие пленки
Запоминающие среды и устройства
CD, DVD диски, накопителя терабитных ЗУ с термомеханической, электрической, емкостной и др. типами записи
Наноматериалы
Нанопорошки, нанокомпозиты, нанопористые материалы
Наноструктуры
Фуллерены, нанотрубки, нанокапсулы
Наноэлектроника
Квантовые точки
Нанообработка
АСМ литография: силовая (наногравировка и наночеканка), токовая (Локальное анодное оксидирование), СТМ литография
Наноманипуляции
Перемещение и ориентирование нанообъектов
Дополнительные возможности:
- Оптическая система с разрешением до 0,4 мкм
- Возможность работы в низком вакууме 10-2 Торр
- Нагревание образца до 3000 С с точностью поддержания температуры 0,050С
- Измерение фемто-амперных токов, диапазон 30fA - 100pA
- Измерения в жидкости с возможностью подогрева до 600 С
- Электрохимические АСМ и СТМ измерения
- Уникальная методика Атомно-Силовой Акустической Микроскопии (АСАМ)
- Контактная Сканирующая Емкостная Мода
- Регистрация быстрых сигналов
- Наноиндентация
Конфигурации:
Конфигурация для СТМ измерений |
Конфигурация для Атомно-Силовой Акустической Микроскопии |
|
Конфигурация для высокотемпературных измерений |
Конфигурация с Оптикой Высокого Разрешения |
