Платформа ИНТЕГРА: ИНТЕГРА Максимус

Для многих индустриальных приложений принципиальна возможность исследовать большие образцы, накапливая массивы данных по заранее заданным алгоритмам в автоматическом режиме. Это может быть контроль качества поверхностей оптических элементов — например, исследование шероховатости поверхности линз — или определение электрических параметров в заданных областях 100 мм кремниевой пластины, или тестирование большого количества микрообразцов полимерного материала при оптимизации условий химического синтеза для выбора идеального сочетания механических свойств. Таким образом, специализация ИНТЕГРА Максимус — это работа с большими образцами и сбор больших массивов данных в автоматическом режиме.

Особенности:

  • исследование больших и массивных образцов до 100мм в диаметре и 15мм в высоту, до 1кг весом
  • анализ матрицы однотипных микрообразцов
  • программирование системы на проведение серийных измерений
  • моторизованное X,Y позиционирование образца


Технические характеристики:

 

Применение:

В науке: в области образования, общей метрологии, материаловедении (в исследованиях структур металлов и сплавов, молекулярных, полимерных, полупроводниковых, магнитных, наноструктурированных и пр. материалов), в исследованиях полупроводниковых приборов, свойств тонких пленок, в разработках запоминающих сред, в том числе для терабитной памяти, для манипуляций на нанометровом уровне;

В промышленности: в полупроводниковой промышленности, в микроэлектронике, производстве компакт-дисков, в металлургии и металлообработке, оптической промышленности, при анализе качества поверхности материалов, медицине и медицинской промышленности, в производстве порошковых материалов, красок, защитных покрытий, производстве компакт-дисков, производстве накопителей и устройств записи-считывания для ЗУ сверхбольшой емкости.

Конфигурации:

Конфигурация для исследования образцов больших размеров
Система сканирования зондом и предметный столик с электромеханическим приводом позволяют проводить автоматизированное сканирование заранее выбранных областей на образцах с большими размерами.

 

Конфигурация для АСМ измерений с высоким разрешением.
Данная конфигурация за счет использования сканирования образцом позволяет АСМ реализовать измерения с максимальным разрешением при минимальных искажениях.