Платформа ИНТЕГРА: ИНТЕГРА Аура
ИНТЕГРА Аура – это Сканирующий Зондовый Микроскоп для работы в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума. В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность, надежность и достоверность в измерениях слабых сил между зондом и образцом. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности. При дальнейшем увеличении вакуума величина добротности быстро выходит на плато и изменяется
минимально.
Таким образом, ИНТЕГРА Аурапредставляет собой оптимальное соотношение затрат и качества: по сравнению с высоковакуумными комплексами, существенно меньшим оказывается время, необходимое для достижения необходимого уровня вакуума — вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности, достигается всего за 1 минуту! При этом весь комплекс оказывается компактным, относительно простым в эксплуатации и обслуживании.
Как представитель платформы ИНТЕГРА, ИНТЕГРА Аура оснащена емкостными датчиками обратной связи по всем трем координатным осям, оптикой с разрешением до 1 мкм и возможностью проведения измерений в более чем 40 методиках. За счет открытой архитектуры функциональность ИНТЕГРА Аура может быть существенно расширена. Это могут быть измерения с внешним магнитным полем (как горизонтальным до +/- 0,2 Т, так и вертикальным +/- 0,02 Т), высокотемпературные исследования (нагревание до 300 °С с точностью поддержания температуры 0,05 °С) и т.д.
Особенности:
- Измерения без негативного влияния поверхностного адсорбата
- Высокая чувствительность двухпроходных методик за счет увеличения добротности колебаний кантилевера в вакууме
- Самый полный набор электрических и магнитных методик (SRI, SCM — contact and non"contact, SKM, MFM, PFM, EFM, DFM)
- Моторизованное позиционирование по X,Y
- Наличие емкостных датчиков перемещения (closed loop control) с самым низким уровнем собственного шума (могут быть использованы на полях сканирования <100 нм!)
- Возможность наращивать функциональность
Технические характеристики:

* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
Применение:
ИНТЕГРА Аура позволяет с нанометровым разрешением проводить исследование поверхностных характеристик и приповерхностных физических полей различных объектов, допускающих их размещение в вакууме.
Дополнительные возможности:
- Работа с внешним магнитным полем - горизонтальное до +/- 0,2Т, вертикальное до +/- 0,02Т
- Нагревание образца до 3000С с точностью поддержания температуры 0,050С
- Измерение фемто-амперных токов, диапазон 30fA - 100pA
- Измерения в жидкости с возможностью подогрева до 600С
- Электрохимические АСМ и СТМ измерения
- Контактная Сканирующая Емкостная Мода
- Наноиндентация
Конфигурации:
Конфигурация для измерений в вакууме |
Конфигурация для электрохимических процессов |
|
Конфигурация для контактной Сканирующей Емкостной Микроскопии |
Конфигурация для измерений в жидкости |
|
Конфигурация для СТМ измерений |
Конфигурация для исследований магнитных свойств |






