Платформа ИНТЕГРА: ИНТЕГРА Аура

ИНТЕГРА Аура –  это Сканирующий Зондовый Микроскоп для работы в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума. В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность, надежность и достоверность в измерениях слабых сил между зондом и образцом. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности. При дальнейшем увеличении вакуума величина добротности быстро выходит на плато и изменяется
минимально. 
Таким образом, ИНТЕГРА Аурапредставляет собой оптимальное соотношение затрат и качества: по сравнению с высоковакуумными комплексами, существенно меньшим оказывается время, необходимое для достижения необходимого уровня вакуума — вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности, достигается всего за 1 минуту! При этом весь комплекс оказывается компактным, относительно простым в эксплуатации и обслуживании.
Как представитель платформы ИНТЕГРА, ИНТЕГРА Аура оснащена емкостными датчиками обратной связи по всем трем координатным осям, оптикой с разрешением до 1 мкм и возможностью проведения измерений в более чем 40 методиках. За счет открытой архитектуры функциональность ИНТЕГРА Аура может быть существенно расширена. Это могут быть измерения с внешним магнитным полем (как горизонтальным до +/- 0,2 Т, так и вертикальным +/- 0,02 Т), высокотемпературные исследования (нагревание до 300 °С с точностью поддержания температуры 0,05 °С) и т.д.

Особенности:

  • Измерения без негативного влияния поверхностного адсорбата
  • Высокая чувствительность двухпроходных методик за счет увеличения добротности колебаний кантилевера в вакууме
  • Самый полный набор электрических и магнитных методик (SRI, SCM — contact and non"contact, SKM, MFM, PFM, EFM, DFM)
  • Моторизованное позиционирование по X,Y
  • Наличие емкостных датчиков перемещения (closed loop control) с самым низким уровнем собственного шума (могут быть использованы на полях сканирования <100 нм!)
  • Возможность наращивать функциональность

    Технические характеристики:


    * Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
    ** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
    *** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.

Применение:

ИНТЕГРА Аура позволяет с нанометровым разрешением проводить исследование поверхностных характеристик и приповерхностных физических полей различных объектов, допускающих их размещение в вакууме.

Дополнительные возможности:

  • Работа с внешним магнитным полем - горизонтальное до +/- 0,2Т, вертикальное до +/- 0,02Т
  • Нагревание образца до 3000С с точностью поддержания температуры 0,050С
  • Измерение фемто-амперных токов, диапазон 30fA - 100pA
  • Измерения в жидкости с возможностью подогрева до 600С
  • Электрохимические АСМ и СТМ измерения
  • Контактная Сканирующая Емкостная Мода
  • Наноиндентация


Конфигурации:

Конфигурация для измерений в вакууме
Данная конфигурация позволяет проводить измерения в условиях вакуума до 10-2 Торр, что предоставляет целый ряд преимуществ. Это относится как к повышению чувствительности измерений за счет повышения добротности колебаний кантилевера, так и к возможности проведения измерений без вредного влияния поверхностного адсорбата.

 

Конфигурация для электрохимических процессов
Данная конфигурация позволяет исследовать электрохимические процессы. В ее состав входит AFM электрохимическая жидкостная ячейка и предусилитель.

Конфигурация для контактной Сканирующей Емкостной Микроскопии
Данная конфигурация реализует оригинальную методику контактной Сканирующей Емкостной Микроскопии. Оно является особенно привлекательной при исследованиях полупроводниковых структур.

 

Конфигурация для измерений в жидкости
В данной конфигурации используется юстировочный столик с жидкостной ячейкой, устанавливаемой на сканере.

Конфигурация для СТМ измерений  
СТМ головка с предусилителем на дипазон токов 30pA-50nA. Конструкция головки предусматривает возможность использования видеомикроскопа с 1 мкм разрешением. В данной конфигурации сканирования осуществляется образцом.

 

Конфигурация для исследований магнитных свойств
Конфигурация позволяет проводить исcледования магнитных свойств образцов во внешних магнитных полях методами Магнитно-Силовой Микроскопии на нанометровом уровне.

Информационная брошюра Интегра Аура (1,3 Мб)